韩国半导体设备商AP系统战略投资SD光学，整合MEMS光检技术瞄准HBM与TGV市场
AP系统认购转换优先股投资SD光学，将MEMS可变焦光检技术内化至其设备，共同开发面向HBM和TGV等先进封装市场的检测方案。
韩国半导体及显示面板设备制造商AP系统（AP Systems）于10月28日宣布对超精密光学检测解决方案供应商SD光学（SD Optics）进行战略股权投资。AP系统表示，公司将参与SD光学的第三方定向增资，认购其新发行的可转换优先股（CPS）。此举旨在将SD光学的核心光学技术内化到AP系统的设备中，并通过建立合作伙伴关系开拓新市场。
SD光学是全球首家商业化基于微机电系统（MEMS）的“镜阵列透镜技术”（MALS）的公司。该技术能以超高速（12,000 Hz）控制微镜阵列的运动，实现无机械振动的实时焦点调整，适用于具有大台阶样品的3D形貌测量和超高速视觉检测。目前，蔡司（Zeiss）显微镜系统已采用该技术，SD光学也向半导体封装、玻璃基板及显示领域的企业供应检测模块和设备。
根据合作计划，双方将共同开发新一代独立式计量/检测设备以及工艺/检测复合设备。目标市场聚焦于高带宽内存（HBM）、扇出型面板级封装（FO-PLP）以及半导体玻璃基板的玻璃通孔（TGV）等先进半导体封装领域。AP系统还计划在其主力半导体和显示设备中搭载基于SD光学MALS技术的焦点跟踪和3D线扫描模块，以实现对工艺前后表面形貌、台阶高度和残留物的实时测量。