日本陶瓷巨头TOTO宣布投资600亿日元新建半导体设备部件工厂
TOTO将在福冈县丰前市新建生产设施，用于量产下一代静电吸盘和AD部件，预计2029财年上半年投产。
日本陶瓷制造商TOTO于2026年10月30日宣布，将在其位于福冈县丰前市的TOTO Fine Ceramics Buzen工厂内新建一座生产设施，专门用于量产下一代静电吸盘（Electrostatic Chuck）和气溶胶沉积（Aerosol Deposition, AD）部件。该项目的投资额约为600亿日元，计划于2029财年上半年开始生产。
静电吸盘是半导体制造设备中用于固定硅晶圆的关键部件，而AD部件则搭载于蚀刻工艺的设备中。TOTO将这些面向半导体制造设备的陶瓷材料视为其“陶瓷业务”的增长板块。公司表示，其具有耐等离子体特性的静电吸盘和AD部件有助于内存的多层化和逻辑半导体的微细化，这些趋势正是当前AI芯片需求激增所驱动的。
新建设的生产大楼为三层钢结构，建筑面积约1.2万平方米，总建筑面积约3.6万平方米，是该公司陶瓷业务迄今最大规模的生产设施。此外，TOTO还在同一工厂建设用于增加静电吸盘产量的烧结楼，预计2027年1月完工。此次600亿日元的投资独立于TOTO在2026年4月宣布的、针对茅崎、中津和丰前三大工厂的约300亿日元设备投资计划，被描述为“为进一步增强产能的大规模投资计划”。